Integrierte Elektronische Hardware für Waferbehandlungs-Steuerung und -Diagnose
EP1295316
Art B1
14. März 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1295316
- Aktenzeichen
- EP01950693
- Anmeldetag
- 29. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 14. März 2007
- Erteilung
- 14. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/414H01J37/00H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
2.212
Patente gesamt
31
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte