Polierkissen für Halbleiter-Wafer

EP1295680 Art B1 28. März 2007

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1295680
Aktenzeichen
EP02021166
Anmeldetag
24. September 2002
Veröffentlichung
28. März 2007
Erteilung
28. März 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24D13/14B24D3/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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