Untersuchungsvorrichtung für Geladene Teilchenstrahlen und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements mit Dieser Untersuchungsvorrichtung

EP1296352 Art A1 26. März 2003

Anmelder: EBARA CORPORATION, Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1296352
Aktenzeichen
EP01945627
Anmeldetag
27. Juni 2001
Veröffentlichung
26. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/29H01J37/244H01J37/20G01B15/00H01L21/66G01N23/225
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
EBARA CORPORATION
Kabushiki Kaisha Toshiba
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

13.642 Patente in unserer Datenbank

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