Durchflussregelung für ein Prozessgas in der Halbleiterfertigung
EP1297396
Art B1
23. Mai 2007
Anmelder: PARKER HANNIFIN CORPORATION, Parker Hannifin Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1297396
- Aktenzeichen
- EP01912892
- Anmeldetag
- 22. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2007
- Erteilung
- 23. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06G01F25/00G01F1/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- PARKER HANNIFIN CORPORATION
Parker Hannifin Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Parker Hannifin
US-amerikanisches Unternehmen für Antriebs- und Steuerungstechnik mit Schwerpunkt auf Hydraulik, Pneumatik und Dichtungstechnik.
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