Langlebige Elektroden Fur Gasentladungslaser

EP1297594 Art B1 15. August 2012

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1297594
Aktenzeichen: EP01937186
Anmeldetag: 24. April 2001
Veröffentlichung: 15. August 2012
Erteilung: 15. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01S3/036H01S3/223H01S3/038H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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