Verbundener Keramischer Gegenstand, Vorrichtung zum Halten von Substraten und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten

EP1298107 Art A1 2. April 2003

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1298107
Aktenzeichen
EP02717118
Anmeldetag
11. April 2002
Veröffentlichung
2. April 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C04B37/00H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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