Verfahren zur Interferenzmessung und Vorrichtung zur Interferenzmessung
EP1298410
Art B1
20. Januar 2010
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1298410
- Aktenzeichen
- EP01932130
- Anmeldetag
- 18. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2010
- Erteilung
- 20. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/24G01B9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Viering, Hans-Martin
München, Deutschland
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