Beschichtungszusammensetzungen zur Benutzung in einem beschichteten Photoresist
EP1298492
Art A3
18. August 2004
Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC, Shipley Co. L.L.C. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1298492
- Aktenzeichen
- EP02256723
- Anmeldetag
- 26. September 2002
- Veröffentlichung
- 18. August 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Shipley Co. L.L.C. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rohm and Haas
Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.
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