Verfahren zum Abschliessen eines Mehrzonen-Heizgeräts von der Atmosphäre

EP1299573 Art A2 9. April 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1299573
Aktenzeichen
EP01948659
Anmeldetag
22. Juni 2001
Veröffentlichung
9. April 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/46C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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