Ventilverteilbox und Herstellungsverfahren

EP1299599 Art A1 9. April 2003

Anmelder: Entegris, Inc., FLUOROWARE, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1299599
Aktenzeichen
EP01948847
Anmeldetag
2. Juli 2001
Veröffentlichung
9. April 2003
Rechtsraum
EP
IPC
E03B1/00F16K23/00F16L5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
FLUOROWARE, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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