Verfahren zum Entwerfen einer Phasenschiebermaske für Komplexe Muster

EP1299771 Art B1 16. März 2011

Anmelder: Synopsys, Inc., Synopsys Merger Holdings LLC, Numerical Technologies, Inc., Numerical Technologies Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1299771
Aktenzeichen
EP00992248
Anmeldetag
28. November 2000
Veröffentlichung
16. März 2011
Erteilung
16. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F1/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Synopsys, Inc.
Synopsys Merger Holdings LLC
Numerical Technologies, Inc.
Numerical Technologies Inc.
Land
🇺🇸 USA

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