Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines den Sollwert der Kritischen Abmessung Aufweisenden Photolackmusters

EP1299772 Art A1 9. April 2003

Anmelder: NXP B.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1299772
Aktenzeichen
EP01952879
Anmeldetag
15. Juni 2001
Veröffentlichung
9. April 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/14G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NXP B.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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