Matrix von Emittern "heisser" Elektronen für die Elektronenstrahllithographie und für Bildschirme
Anmelder: Ecole Polytechnique Féderale de Lausanne (EPFL), PAUL SCHERRER INSTITUT, ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1299892
- Aktenzeichen
- EP00940104
- Anmeldetag
- 11. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 9. April 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J1/312H01J31/12H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ecole Polytechnique Féderale de Lausanne (EPFL)
PAUL SCHERRER INSTITUT
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) - Land
- 🇨🇭 Schweiz
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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