Kathodenanordnung für eine Indirekt Geheizte Kathode einer Ionenquelle
EP1299895
Art B1
19. Januar 2005
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1299895
- Aktenzeichen
- EP01928826
- Anmeldetag
- 25. April 2001
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2005
- Erteilung
- 19. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J27/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
690 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beck, Simon Antony
London, Großbritannien
871
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte