Verfahren zur Verbesserung der Epitaxie-Qualität (oberflächenstruktur und Fehlstellen-Dichte) in Freistehenden (aluminium, Indium, Gallium) Nitrid ((ai,in,ga)n) Substraten für Optoelektronische und Elektronische Bauelemente

EP1299900 Art B1 12. Dezember 2012

Anmelder: Cree, Inc., CREE, INC., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1299900
Aktenzeichen
EP01946718
Anmeldetag
27. Juni 2001
Veröffentlichung
12. Dezember 2012
Erteilung
12. Dezember 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C30B23/02C30B23/04C30B28/12C30B28/14C30B29/58C23C14/06C23C14/24C23C16/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Cree, Inc.
CREE, INC.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA

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