Herstellungsverfahren für ein Gate für eine Cmos Transistorstruktur mit Reduzierter Kanallänge

EP1299902 Art B1 26. Juni 2019

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS), COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1299902
Aktenzeichen
EP01953196
Anmeldetag
6. Juli 2001
Veröffentlichung
26. Juni 2019
Erteilung
26. Juni 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28H01L29/423H01L29/49
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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