Verfahren zur Trennung einer Materialblocks und Bildung eines Dünnen Films

EP1299905 Art B1 16. April 2008

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1299905
Aktenzeichen
EP01954078
Anmeldetag
11. Juli 2001
Veröffentlichung
16. April 2008
Erteilung
16. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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