Verfahren und Gerät zur Inspektion von Mehrschichtenmasken nach Fehlstellen
EP1300676
Art B1
19. September 2012
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1300676
- Aktenzeichen
- EP02256970
- Anmeldetag
- 4. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 19. September 2012
- Erteilung
- 19. September 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
3.785 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Arrowsmith, Peter Michael E
London, Großbritannien
170
Patente gesamt
28
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Smith, Norman Ian
NoneLondon