Verfahren und Gerät zur Inspektion von Mehrschichtenmasken nach Fehlstellen

EP1300676 Art B1 19. September 2012

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1300676
Aktenzeichen
EP02256970
Anmeldetag
4. Oktober 2002
Veröffentlichung
19. September 2012
Erteilung
19. September 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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