Apparat und Verfahren zum Oberflächenfräsen ausgewählter Oberflächenbereiche von Mehrschichtfilm-Reflektionsspiegeln zur Benutzung in röntgenoptischen Systemen
EP1300857
Art A3
21. Mai 2008
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1300857
- Aktenzeichen
- EP02020962
- Anmeldetag
- 19. September 2002
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/06G03F7/20G02B5/08
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beattie, Alex Thomas Stewart
München, Deutschland
1.009
Patente gesamt
34
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoarton, Lloyd Douglas Charles
NoneMünchen
-
Meddle, Alan Leonard
NoneMünchen