Methode und Apparat zur Modellierung des Dickenprofiles und Kontrolle Nachfolgender Ätzverfahren
EP1301943
Art A2
16. April 2003
Anmelder: Globalfoundries Inc., GlobalFoundries, Inc., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇰🇾
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1301943
- Aktenzeichen
- EP01950911
- Anmeldetag
- 3. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 16. April 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Globalfoundries Inc.
GlobalFoundries, Inc.
ADVANCED MICRO DEVICES INC. - Land
- 🇰🇾 KY
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
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Vertreten von
Picker, Madeline Margaret
London, Großbritannien
951
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