Verfahren zur Herstellung eines Durchgangslochs oder eines Grabens in einem Siliziumsubstrat
EP1302979
Art B1
25. Juli 2007
Anmelder: SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO. LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1302979
- Aktenzeichen
- EP02256928
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2007
- Erteilung
- 25. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01L21/768H01L23/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO. LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shinko Electric Industries
Shinko Electric Industries ist ein japanischer Hersteller von Halbleiterpackaging und elektronischen Bauteilen. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Elektronik und Schaltungstechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
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Fachgebiete
Vertreten von
Finnie, Peter John
Sevenoaks, Großbritannien
2.081
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Fachgebiete
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Weitere Vertreter
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Rackham, Stephen Neil
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