Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung mit einer Siliziumcarbidschicht

EP1302981 Art A3 2. Juni 2004

Anmelder: FUJITSU LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1302981
Aktenzeichen
EP02002111
Anmeldetag
28. Januar 2002
Veröffentlichung
2. Juni 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJITSU LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujitsu

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