Verfahren zur Herstellung eines Gebondeten Wafers und Gebondeter Wafer

EP1302985 Art A1 16. April 2003

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1302985
Aktenzeichen
EP01932319
Anmeldetag
29. Mai 2001
Veröffentlichung
16. April 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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