Hoch Auflösende Ausrichtungsverfahren und Entsprechende Systeme für die Präge-Lithographie

EP1303792 Art B1 3. Oktober 2012

Anmelder: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1303792
Aktenzeichen
EP01952771
Anmeldetag
16. Juli 2001
Veröffentlichung
3. Oktober 2012
Erteilung
3. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00B29C37/00B29C35/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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