Verfahren und Gerät zur Automatischen Zufuhr von Flüssigen Materialien in der Imprint-Lithogrpahie

EP1303793 Art B1 28. Januar 2015

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System, BOARD OF REGENTS THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1303793
Aktenzeichen
EP01955853
Anmeldetag
17. Juli 2001
Veröffentlichung
28. Januar 2015
Erteilung
28. Januar 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G03F7/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Board of Regents, The University of Texas System
BOARD OF REGENTS THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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