Reduzierung der Abweichungen der Kritischen Grösse in der Herstellung von der Gate-Elektrode eines Transistors durch Rückkopplungskontrolle der Ätzzeit

EP1303874 Art A2 23. April 2003

Anmelder: Globalfoundries Inc., GlobalFoundries, Inc., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇰🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1303874
Aktenzeichen
EP01952452
Anmeldetag
3. Juli 2001
Veröffentlichung
23. April 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66H01L21/28H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Globalfoundries Inc.
GlobalFoundries, Inc.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇰🇾 KY
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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