Reduzierung der Abweichungen der Kritischen Grösse in der Herstellung von der Gate-Elektrode eines Transistors durch Rückkopplungskontrolle der Ätzzeit
EP1303874
Art A2
23. April 2003
Anmelder: Globalfoundries Inc., GlobalFoundries, Inc., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇰🇾
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1303874
- Aktenzeichen
- EP01952452
- Anmeldetag
- 3. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 23. April 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L21/28H01L21/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Globalfoundries Inc.
GlobalFoundries, Inc.
ADVANCED MICRO DEVICES INC. - Land
- 🇰🇾 KY
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
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Fachgebiete
Vertreten von
Sanders, Peter Colin Christopher
London, Großbritannien
77
Patente gesamt
13
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Brookes IP · Tunbridge Wells
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Brookes Batchellor LLP
Brookes Batchellor LLP · London