F2 Lithographie Laser mit Injektionssynchronisierung

EP1303892 Art A1 23. April 2003

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1303892
Aktenzeichen
EP00991859
Anmeldetag
28. November 2000
Veröffentlichung
23. April 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/00H01S3/22H01S3/03
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Pfau, Anton Konrad München, Deutschland
154
Patente gesamt
29
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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