Laserbestrahlungsverfahren und Laserbestrahlungsvorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Halbleitervorrichtung

EP1304186 Art B1 16. September 2009

Anmelder: Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd., SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1304186
Aktenzeichen
EP02021768
Anmeldetag
25. September 2002
Veröffentlichung
16. September 2009
Erteilung
16. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B23K26/06B23K26/073G02B27/09H01L21/20H01L21/268H01L21/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd.
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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