Anordnung und Verfahren zur Aufnahme und zum Bearbeiten eines dünnen Wafers

EP1304726 Art B1 18. Juli 2007

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1304726
Aktenzeichen
EP02023396
Anmeldetag
18. Oktober 2002
Veröffentlichung
18. Juli 2007
Erteilung
18. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/68B23Q3/15
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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