Keramikheizer für Halbleiterfertigungs und Test, Seine Herstellungsmethode und Productionssystem dafür
EP1304729
Art A1
23. April 2003
Anmelder: IBIDEN CO., LTD., Ibiden Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1304729
- Aktenzeichen
- EP01951941
- Anmeldetag
- 19. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 23. April 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/68H05B3/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IBIDEN CO., LTD.
Ibiden Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ibiden
Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.
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Kanzlei
Boeters & Lieck
München, Deutschland
Boeters & Lieck ist eine Kanzlei aus Patentanwälten und Rechtsanwälten mit Sitz in München. Sie ist als European Patent and Trademark Attorneys tätig und bei der Patentanwaltskammer sowie dem Institut der beim Europäischen Patentamt zugelassenen Vertreter (epi) registriert.
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