Verfahren zur Reinigung von Cvd-Einrichtungen und Reinigungsgerät dafür
Anmelder: Canon Anelva Corporation, ULVAC, INC., Kanto Denka Kogyo Co., Ltd., SANYO ELECTRIC CO., LTD., Sony Corporation, DAIKIN INDUSTRIES, LTD., TOKYO ELECTRON LIMITED, NEC Electronics Corporation, Hitachi Kokusai Electric Inc., MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA, Renesas Technology Corp., Kanto Denka Kogyo CO., LTD., SONY CORPORATION, Ulvac, Inc., Sanyo Electric Co., Ltd., Daikin Industries, Ltd., Tokyo Electron Limited, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Anelva Corporation, Research Institute of Innovative Technology for the Earth 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1304731
- Aktenzeichen
- EP02705296
- Anmeldetag
- 18. März 2002
- Veröffentlichung
- 2. August 2006
- Erteilung
- 2. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31C23C16/44H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
ULVAC, INC.
Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.
SANYO ELECTRIC CO., LTD.
Sony Corporation
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
TOKYO ELECTRON LIMITED
NEC Electronics Corporation
Hitachi Kokusai Electric Inc.
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
Renesas Technology Corp.
Kanto Denka Kogyo CO., LTD.
SONY CORPORATION
Ulvac, Inc.
Sanyo Electric Co., Ltd.
Daikin Industries, Ltd.
Tokyo Electron Limited
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Anelva Corporation
Research Institute of Innovative Technology for the Earth - Land
- 🇯🇵 Japan
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