Messung der Folienstärke durch Elektronenstrahl Induzierte Röntgen-Mikroanalyse
EP1305815
Art A1
2. Mai 2003
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1305815
- Aktenzeichen
- EP01944398
- Anmeldetag
- 7. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/244H01J37/252G01N23/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
Patente gesamt
33
Fachgebiete
31
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