Quarzglass-Spannvorrichtung für Plasmabehandlungsgerät
EP1305818
Art A2
2. Mai 2003
Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD., Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1305818
- Aktenzeichen
- EP01969550
- Anmeldetag
- 30. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C03C15/00B24C1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Heraeus Quarzglas
Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.
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Vertreten von
Kühn, Hans-Christian
Hanau, Deutschland
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