Prozess zum Wachsen eines Magnesiumoxidfilms auf einem Silizium-(100)-Substrat, das mit einer Kubischen Siliziumcarbidpufferschicht Beschichtet Ist
EP1305823
Art A1
2. Mai 2003
Anmelder: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY, Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1305823
- Aktenzeichen
- EP00952051
- Anmeldetag
- 17. August 2000
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY
Korea Research Institute of Chemical Technology - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Chemical Technology
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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