Fenster für ein Polierkissen zum chemisch-mechanischen Polieren

EP1306163 Art A1 2. Mai 2003

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1306163
Aktenzeichen
EP02023894
Anmeldetag
24. Oktober 2002
Veröffentlichung
2. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24D7/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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