Zusammensetzung für das chemisch-mechanische Polieren von Metall- und Metall-Dielektrikastrukturen mit hoher Selektivität
EP1306415
Art A3
3. Dezember 2003
Anmelder: H.C. Starck GmbH, H.C. Starck GmbH & Co. KG, Bayer Aktiengesellschaft 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1306415
- Aktenzeichen
- EP02022977
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/02C09K3/14H01L21/321
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- H.C. Starck GmbH
H.C. Starck GmbH & Co. KG
Bayer Aktiengesellschaft - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Bayer
Deutscher Konzern mit Sitz in Leverkusen, tätig in den Bereichen Pharmazeutika, Consumer Health und Agrarwissenschaften mit Entwicklung von Arzneimitteln, Saatgut und Pflanzenschutzmitteln.
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Vertreten von
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Clauswitz, Kai-Uwe Wolfram
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Feldhues, Michael L.F
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