Zusammensetzung für das chemisch-mechanische Polieren von Metall- und Metall-Dielektrikastrukturen mit hoher Selektivität

EP1306415 Art A3 3. Dezember 2003

Anmelder: H.C. Starck GmbH, H.C. Starck GmbH & Co. KG, Bayer Aktiengesellschaft 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1306415
Aktenzeichen
EP02022977
Anmeldetag
14. Oktober 2002
Veröffentlichung
3. Dezember 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
H.C. Starck GmbH
H.C. Starck GmbH & Co. KG
Bayer Aktiengesellschaft
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 H.C. Starck

H.C. Starck ist ein deutsches Unternehmen für Spezialmetalle und Werkstoffe wie Tantal und Wolfram mit Sitz in Goslar. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterwerkstoffe, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2019.

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🇩🇪 Bayer

Deutscher Konzern mit Sitz in Leverkusen, tätig in den Bereichen Pharmazeutika, Consumer Health und Agrarwissenschaften mit Entwicklung von Arzneimitteln, Saatgut und Pflanzenschutzmitteln.

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