Eingebaute mikroelektromechanische (MEMS) Sensorvorrichtung für Leistungshalbleiter
EP1306678
Art B1
17. August 2005
Anmelder: Rockwell Automation Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1306678
- Aktenzeichen
- EP02023958
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 17. August 2005
- Erteilung
- 17. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R15/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Rockwell Automation Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rockwell Automation
US-amerikanisches Unternehmen, das Industrieautomatisierung entwickelt, darunter Steuerungssysteme, Software und Antriebstechnik für Fertigungsbetriebe.
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Fachgebiete
Vertreten von
Grünberg, Thomas
München, Deutschland
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Grünberg, Thomas Dr
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