Mehrschichtige Spiegel für EUV, Verfahren zu deren Herstellung und diese enthaltende optische Systeme
EP1306698
Art A1
2. Mai 2003
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1306698
- Aktenzeichen
- EP01125639
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/08G02B5/10G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Meddle, Alan L
München, Deutschland
97
Patente gesamt
25
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Meddle, Alan Leonard
NoneMünchen