Ionenimplantierungs-Verfahren und -Gerät

EP1306879 Art A3 20. Oktober 2004

Anmelder: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD., Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1306879
Aktenzeichen: EP02023975
Anmeldetag: 25. Oktober 2002
Veröffentlichung: 20. Oktober 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD.
Nissin Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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