Verfahren und Vorrichtung zum Chemisch-Mechanischen Polieren von Substraten
EP1307320
Art B1
14. März 2007
Anmelder: ASML US, Inc., MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY, Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1307320
- Aktenzeichen
- EP01962336
- Anmeldetag
- 31. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 14. März 2007
- Erteilung
- 14. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B1/00B24B5/00B24B37/04
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- ASML US, Inc.
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Massachusetts Institute of Technology - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Dunlop, Brian Kenneth Charles
Cheltenham, Großbritannien
403
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16
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Stoner, Gerard Patrick
NoneLondon