Verfahren zur Herstellung eines Werkzeugs das zur Schaffung von Oberflächenstrukturen im Sub-Mikrometer Bereich Einsetzbar Ist

EP1307604 Art B1 6. Mai 2004

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1307604
Aktenzeichen
EP01960643
Anmeldetag
9. August 2001
Veröffentlichung
6. Mai 2004
Erteilung
6. Mai 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/04C03C17/25C03C19/00C03B11/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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