Verfahren zur Erzeugung eines Mikroelektronischen Elements

EP1307785 Art A2 7. Mai 2003

Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., CLARIANT INTERNATIONAL LTD. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1307785
Aktenzeichen
EP01949500
Anmeldetag
20. Juli 2001
Veröffentlichung
7. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/40G03F7/00H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
AZ Electronic Materials USA Corp.
CLARIANT INTERNATIONAL LTD.
Land
🇺🇸 USA
🇨🇭 Clariant

Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.

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