Verfahren zur Stresskontrolle in auf Substraten Abgeschiedenen Galliumnitridfilmen
EP1307903
Art A1
7. Mai 2003
Anmelder: The Regents of the University of California, THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1307903
- Aktenzeichen
- EP01957415
- Anmeldetag
- 3. August 2001
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/205C30B25/02C30B29/40H01L33/12H01L33/32
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- The Regents of the University of California
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of California
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Ward, David Ian
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