Verfahren und Vorrichtung zum Kontrollieren der Gleichmässigkeit von Halbleiterscheiben in einem Chemisch-Mechanischen Polierwerkzeug unter Verwendung von Trägerplattenkennzeichen

EP1307909 Art B1 13. Dezember 2006

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1307909
Aktenzeichen
EP01950837
Anmeldetag
3. Juli 2001
Veröffentlichung
13. Dezember 2006
Erteilung
13. Dezember 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/60
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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