Elektrische Passivierung von Siliziumhaltigen Oberflächen unter Verwendung Organischer Schichten

EP1307919 Art A1 7. Mai 2003

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1307919
Aktenzeichen
EP01953457
Anmeldetag
12. Juli 2001
Veröffentlichung
7. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/58H01L21/31H01L21/469
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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