Silizium-Einkristall-Wafer mit Hohlraumfreier Zone auf der Oberfläche, Durchmesser von Ungefähr 300MM und dessen Herstellung

EP1308544 Art A1 7. Mai 2003

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1308544
Aktenzeichen
EP02736029
Anmeldetag
7. Juni 2002
Veröffentlichung
7. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06C30B33/02C30B15/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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