Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Masken zur Benutzung mit Dipolbelichtung
EP1308780
Art B1
11. Januar 2006
Anmelder: ASML MaskTools B.V., ASML Netherlands B.V., ASML Masktools B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1308780
- Aktenzeichen
- EP02257624
- Anmeldetag
- 4. November 2002
- Veröffentlichung
- 11. Januar 2006
- Erteilung
- 11. Januar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML MaskTools B.V.
ASML Netherlands B.V.
ASML Masktools B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Leeming, John Gerard
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