Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung eines Gasgenerators

EP1309843 Art A1 14. Mai 2003

Anmelder: Inficon GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1309843
Aktenzeichen
EP01969533
Anmeldetag
27. Juli 2001
Veröffentlichung
14. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G01M3/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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