Methode zur Einstellung des Abstands und der Ausrichtung zwischen einem Transparenten Original und einem Substrat in der Imprint-Lithographie
EP1309897
Art A2
14. Mai 2003
Anmelder: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1309897
- Aktenzeichen
- EP01959423
- Anmeldetag
- 1. August 2001
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Texas System
US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.
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Fachgebiete
Vertreten von
Sutto, Luca
Milano, Italien
421
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19
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kirschner, Klaus Dieter
NoneMünchen