Belichtungsgerät und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit dem Gerät
EP1310458
Art B1
7. April 2010
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1310458
- Aktenzeichen
- EP02254694
- Anmeldetag
- 4. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 7. April 2010
- Erteilung
- 7. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B11/00G02B1/02G03F7/20G01N21/73
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
19.221 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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TBK-Patent
TBK-Patent · München